Yatay tüp fırını
2.LAB Box Fırın Ekipmanı: 1L -36 l
3. Çalışma sıcaklığı 1200 derecesine ulaşabilir -1700 derecesi
*** Yukarıda bütün için fiyat listesi, almamızı isteyin
Açıklama
Teknik parametreler
GirişYatay tüp fırını, malzeme bilimi, kimya mühendisliği, yarı iletken üretim ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılan bir ısıtma ekipmanıdır. Yapısal özelliği, fırın tüplerinin içindeki malzemeleri tedavi etmek için ısıtma elemanları ile ısıtılan fırın tüplerinin yatay düzenlemesinde yatmaktadır. Numuneyi, hassas sıcaklık kontrolü, düzgün ısıtma ve kolay çalışma avantajlarına sahip yatay olarak düzenlenmiş fırın tüplerinden ısıtır.
Özellikle yarı iletken üretiminde, çok çeşitli uygulamalara ve önemli bir değere sahiptir. Eşsiz yapısı ve işlevi, silikon gofret tavlama, ısıl işlem, metalleştirme işlemi, dağlama işlemi ve ambalaj işlemi gibi uygulamalarda oldukça değerli hale getirir. Aynı zamanda, yüksek hassasiyetli kontrol, yüksek verimli işleme, iyi uyarlanabilirlik ve BT'nin mükemmel stabilitesi de yarı iletken üretiminde son derece güvenilir ve stabil hale getirir.
Parametre
Çalışma prensibi
Bir çalışma prensibiyatay tüp fırınıısı iletimi ve konveksiyon ilkelerine dayanmaktadır. Isıtma elemanı ısıtma için açıldığında, ısı fırın tüpüne aktarılır ve termal iletim yoluyla numune alırken, fırın içindeki sıcak hava, ısıyı konveksiyon yoluyla tüm fırın boyunca eşit olarak dağıtır.
Isıtma işlemi:
Isıtma elemanı açıldıktan sonra ısı üretir ve fırın tüpüne aktarır. Fırın tüpü ısıtıldıktan sonra ısıyı içindeki numuneye aktarır. Fırın tüpünün mükemmel termal iletkenliği nedeniyle, numune ayarlanan sıcaklığa hızlı bir şekilde ulaşabilir.
Sıcaklık Kontrolü:
Sıcaklık kontrol sistemi, fırın içindeki sıcaklığı gerçek zamanlı olarak izler ve ayarlanan sıcaklık ile ölçülen sıcaklık arasındaki farka göre ısıtma elemanının gücünü ayarlar. Ölçülen sıcaklık ayarlanan sıcaklıktan daha yüksek olduğunda, kontrolör ısıtma elemanının gücünü azaltır; Ölçülen sıcaklık ayarlanan sıcaklıktan daha düşük olduğunda, kontrolör ısıtma elemanının gücünü arttırır. Isıtma elemanının gücünü sürekli olarak ayarlayarak, fırının içindeki sıcaklık sabit tutulabilir.
Atmosfer Kontrolü:
Atmosfer kontrol sistemi, gaz akış hızını ve tipini ayarlayarak fırın içindeki atmosfer ortamını kontrol eder. Örneğin, yarı iletken üretim işleminde, numune oksidasyon ve kontaminasyonunu önlemek için fırın içindeki oksijen ve su buharı içeriğinin kontrol edilmesi gerekir. Atmosfer kontrol sistemi, süreç gereksinimlerini karşılamak için fırın içindeki atmosfer ortamını doğru bir şekilde kontrol edebilir.
Yarıiletken üretiminde yatay tüp mobilyasının spesifik uygulaması
HoriznnTal Tüp Furnce, yarı iletken üretiminde çok çeşitli uygulamalara sahiptir ve benzersiz yapısı ve işlevi onu yarı iletken işleme işlemindeki vazgeçilmez ekipmanlardan biri haline getirir.
Temel yapı ve çalışma prensibi
Bir Horiznntal Tüp Mobilya, uzun bir tüp gibi görünen ve içinde yüksek sıcaklıkta reaksiyon odası olan yaygın olarak kullanılan bir yarı iletken işleme ekipmanıdır. Cihaz bir atmosfer kontrol yöntemi benimser ve en iyi işleme etkisini elde etmek için farklı işleme gereksinimlerine göre farklı atmosfer ortamları seçilebilir.
Bir horiyonlu tüp mobilyasının çalışma prensibi, reaktanları fırın boşluğunun içindeki reaktanları ısıtmaktır, bu da yüksek sıcaklıklarda kimyasal reaksiyonlara veya fiziksel değişikliklere tabi tutulmalarına neden olur ve böylece işleme amacına ulaşır. Yarıiletken üretiminde, yatay tüp fırınları esas olarak silikon gofretlerin tavlama ve ısıl işlem için kullanılır.
Silikon gofret tavlamasında uygulama
Silikon gofret kafesinin bütünlüğünü geliştirin
Silikon gofret, yarı iletken endüstrisindeki önemli malzemelerden biridir ve kalitesi ve performansı, yarı iletken cihazların güvenilirliğini ve performansını doğrudan etkiler. İşleme sırasında, silikon gofretler, stres nedeniyle tahıl sınır gerilmesine eğilimlidir, bu da silikon kristallerin kırılmasına ve hasarına yol açabilir. Horiyonlu bir tüp fırında yüksek sıcaklık tavlama yoluyla, silikon gofretteki stres çıkarılabilir, bozulmamış ve silikon gofret kafesine zarar verebilir.
Tavlama işlemi sırasında, silikon gofret bir Horiyontal tüp fırınının içine yerleştirilir ve bir süre yüksek sıcaklıkta tutulur, yavaş yavaş silikon gofretin iç gerilimini serbest bırakır ve kafesin yeniden düzenlenmesi, böylece silikon gofretin kafes bütünlüğünü iyileştirir.
Silikon gofretlerin elektriksel özelliklerinin iyileştirilmesi
Silikon gofretlerin elektriksel özellikleri, yarı iletken cihazların performansını etkileyen temel faktörlerden biridir. Horiyontal tüp fırında tavlama yapılarak, silikon gofretlerin elektriksel özellikleri geliştirilebilir ve iletkenlik ve stabiliteleri arttırılabilir.
Tavlama işlemi sırasında, silikon gofret, fırın içindeki atmosfer yüksek sıcaklıklarda reaksiyona girer, silikon gofretin yüzeyindeki oksit çıkarır ve silikon gofret içindeki safsızlık atomlarını aktive eder ve böylece elektriksel özelliklerini iyileştirir.
Silikon gofretlerin yüzeyinden oksitlerin çıkarılması
Silikon gofretlerin yüzeyi genellikle iletkenliklerini ve stabilitelerini etkileyebilen oksitler içerir. Üretim işlemi sırasında, düzlüklerini ve pürüzsüzlüklerini sağlamak için silikon gofretlerin yüzeyinden oksitlerin çıkarılması, böylece yarı iletken cihazların performansını iyileştirmesi gerekir.
Horiyontal tüp fırını, atmosfer kontrolü yoluyla silikon gofretlerin yüzeyindeki oksitleri uzaklaştırabilir. Tavlama işlemi sırasında, fırının içindeki atmosfer, daha sonra oksit çıkarma hedefine ulaşmak için fırının egzoz sistemi yoluyla boşaltılan uçucu maddeler üretmek için silikon gofretin yüzeyinde oksit ile reaksiyona girer.
Silikon Gofretli Uygulama Isı Tedavisi
Doped silikon gofretlerin kontrolü
Yarı iletken cihazlarda, değişen elektrik performans gereksinimleri nedeniyle farklı malzemelerle katkılı silikon gofretler gereklidir. Horiyontal tüp fırını, silikon gofret doping için farklı cihazların gereksinimlerini karşılamak için silikon gofretlerin doping derecesini ve derinliğini kontrol etmek için farklı atmosfer kontrol parametreleri kullanabilir.
Doping işlemi sırasında, silikon gofret bir Horiyontal tüp fırınının içine yerleştirilir ve fırının içindeki atmosfer silikon gofret ile reaksiyona girer ve katkılı atomların silikon gofretin iç kısmına girmesine izin verir. Fırın içindeki atmosfer ve sıcaklık gibi parametreleri ayarlayarak, katkılı atomların sayısı ve dağılımı istenen doping etkisini elde etmek için kontrol edilebilir.
Silikon gofret yüzeyinde ince filmlerin hazırlanması
Yarı iletken üretiminde, bazen performansını artırmak veya belirli işlevlere ulaşmak için silikon gofretin yüzeyinde ince bir film hazırlamak gerekir. Silikon gofretlerin yüzeyinde ince film hazırlığı için bir ufuk tüp fırını kullanılabilir.
İnce film hazırlama işlemi sırasında, silikon gofret yatay bir tüp frnace'ın içine yerleştirilir ve fırının içindeki atmosfer, istenen ince filmi üretmek için yüksek sıcaklıklarda silikon gofretin yüzeyi ile reaksiyona girer. Fırın içindeki atmosfer, sıcaklık ve reaksiyon süresi gibi parametreleri ayarlayarak, filmin kalınlığı, bileşimi ve özellikleri kontrol edilebilir.
Silikon gofretlerin oksidasyonu ve nitrasyonu
Silikon gofretlerin oksidasyonu ve nitridasyonu, yarı iletken üretiminde önemli işlem adımlarıdır. Horiznnal tüp fırını, silikon gofretlerin oksidasyonu ve nitriding tedavisi için kullanılabilir.
Oksidasyon işlemi sırasında, silikon gofret, bir ufuk tüp fırınının fırın odasına yerleştirilir ve fırın odasındaki oksijen, bir silikon dioksit filmi oluşturmak için silikon gofretin yüzeyi yüksek sıcaklıkta reaksiyona girer. Fırın içindeki oksijen konsantrasyonu, sıcaklık ve reaksiyon süresi gibi parametreler ayarlanarak, silikon dioksit filminin kalınlığı ve özellikleri kontrol edilebilir.
Nitriding işlemi sırasında silikon gofret, bir horiztal tüp fırınının içine yerleştirilir ve fırının içindeki azot gazı, bir silikon nitrür filmi oluşturmak için yüksek sıcaklıklarda silikon gofretin yüzeyi ile reaksiyona girer. Silikon nitrür ince filmler, silikon gofretlerin yüzeyini korumak veya belirli fonksiyonlara ulaşmak için kullanılabilen mükemmel aşınma direncine, korozyon direncine ve yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir.
Yarıiletken üretiminde yatay tüp fırının diğer uygulamaları
Metalizasyon işlemi
Metalizasyon işlemi, silikon gofretler üzerinde metal elektrotlar veya teller oluşturmak için kullanılan yarı iletken üretiminde önemli adımlardan biridir. Horiznntal tüp fırınları, metal elektrotların veya tellerin yapışmasını ve stabilitesini arttırmak için metalleştirme işlemlerinde tavlama tedavisi için kullanılabilir.
Tavlama işlemi sırasında, metalize silikon gofret, bir horiztal tüp fırınının fırın odasına yerleştirilir ve metal elektrot veya tel ve silikon gofret arasındaki bağı daha sıkı yapmak için bir süre yüksek sıcaklıkta tutulur, böylece yapışma ve stabilitesini iyileştirir.
Gravür işlemi
Aşı işlemi, silikon gofretlerin yüzeyinden fazla malzemeyi çıkarmak için yarı iletken üretiminde kullanılan bir adımdır. Gruplama işlemi sırasında üretilen hasarı ve stresi gidermek için gravür işleminden sonra tavlama tedavisi için bir ufuk tüp fırını kullanılabilir.
Tavlama işlemi sırasında kazınmış silikon gofret, bir ufuk tüp fırınının içine yerleştirilir ve bir süre yüksek sıcaklıkta tutulur, yavaş yavaş silikon gofretin iç gerilimini serbest bırakır ve kafesin yeniden düzenlenmesi, böylece gravür işlemi sırasında üretilen hasar ve stresi giderir.
Ambalaj işlemi
Ambalaj işlemi, güvenilirliklerini ve stabilitelerini artırmak için koruyucu kabuklar içindeki yarı iletken cihazları kapsüllemek için kullanılan yarı iletken üretimindeki son adımdır. Ambalaj işlemlerinde üretilen stres ve hasarı gidermek için ambalaj işlemlerinde tavlama tedavisi için bir horiztal tüp fırını kullanılabilir.
Tavlama işlemi sırasında, paketlenmiş yarı iletken cihazı bir Horiztal tüp fırınının içine yerleştirilir ve ambalaj malzemesinin içindeki stresi kademeli olarak serbest bırakmak, kafesi yeniden düzenlemek ve ambalaj işlemi sırasında üretilen stres ve hasarı gidermek için bir süre yüksek sıcaklıkta tutulur.
Egzoz sıcaklığını azaltın termal verimliliği azaltın
Optimize edilmiş konveksiyon bölümü tasarımı
Konveksiyon tüplerinin sayısını artırın
Konveksiyon tüplerinin sayısını artırarak, ısı değişimi verimliliğini artırmak ve egzoz sıcaklığını azaltmak için baca gazı ve ısıtma yüzeyi arasındaki temas alanı genişletilebilir.
Optimize edilmiş konveksiyon tüpü düzenlemesi
Konveksiyon tüpünün makul düzenlenmesi, baca gazının ısısını yakalamayı ve aktarmayı daha etkili hale getirir. Örneğin, borudaki dumanın akış yolunu ve kalma süresini arttırmak için kademeli düzen veya spiral düzeni kullanılabilir.
Isıtma yüzeyi verimliliğini artırın
Verimli ısı transfer malzemeleri kullanın
Isı değişim verimliliğini artırmak için paslanmaz çelik, bakır alaşımı gibi ısıtma yüzeyleri yapmak için yüksek termal iletkenliğe sahip malzemeleri seçin.
Isıtma yüzeyini temiz tutun
Isıtma yüzeyindeki tozu ve kiri düzenli olarak temizleyin ve ısı transfer verimliliğini artırmak için yüzeyini temiz tutun. Toz birikimi ve kiri, ısıtma yüzeyinin ısı transfer performansını azaltarak egzoz sıcaklığında bir artışa neden olur.
Yanma işlemini ayarlayın
Fazla hava katsayısının makul kontrolü
Hava fazla katsayısı, gerçek hava beslemesinin teorik hava beslemesine oranıdır. Fazla hava katsayısının makul kontrolü, fırına çok fazla hava önleyin, duman hacmini azaltabilir, böylece egzoz sıcaklığını azaltabilir.
Yakıt yanma verimliliğini artırmak
Brülörün tasarımını optimize ederek ve yakıt enjeksiyon hızı ve yanma odası sıcaklığı gibi yanma parametrelerini ayarlayarak, yakıtın yanma verimliliği iyileştirilebilir ve eksik yanma yakıt miktarı azaltılabilir, böylece egzoz sıcaklığı azaltılabilir.
Atık ısı geri kazanım ekipmanını artırın
Hava ön ısıtıcısı takın
Hava ön ısıtıcısı, fırına giren havayı önceden ısıtmak için baca gazının atık ısısını kullanabilir, böylece yanma verimliliğini artırabilir ve egzoz sıcaklığını azaltabilir.
Atık Isı Kazanı Kurul
Atık ısı kazanı, baca gazıdaki atık ısıyı geri kazanabilir ve buhar veya sıcak su gibi faydalı enerjiye dönüştürebilir, böylece egzoz sıcaklığını azaltabilir ve enerji kullanım verimliliğini artırabilir.
Diğer önlemler
Yalıtım önlemlerini güçlendirmek
Yatay tüp fırının fırın gövdesi için iyi ısı koruma işlemi ısı kaybını azaltabilir ve egzoz sıcaklığını azaltabilir.
Düzenli bakım ve bakım
Isıtma yüzeyinin kontrol edilmesi, külü temizlemek, yanma parametrelerini ayarlamak gibi yatay tüp fırınının düzenli olarak bakımı ve bakımı normal çalışmasını sağlayabilir ve duman egzoz sıcaklığını azaltabilir.
Duman egzoz sıcaklığını azaltma sürecinde, ekipmanın ekonomisi, güvenliği ve güvenilirliği gibi faktörlerin kapsamlı bir şekilde ele alınması gerektiğine dikkat edilmelidir. Aynı zamanda, belirli süreç gereksinimlerine ve çalışma koşullarına göre uygun önlemleri ve yöntemleri seçmek de gerekmektedir.
Ek olarak, egzoz sıcaklığı çok düşük olduğunda, ısı değişim yüzeyinde düşük sıcaklık çiğ noktası korozyonuna neden olabilir. Bu nedenle, egzoz sıcaklığını seçerken, egzoz sıcaklığının ekipmana zarar vermeden ısı kaybını azaltabilmesini sağlamak için termal verimlilik ve ekipman yaşamı gibi faktörlerin tartılması gerekir.
Popüler Etiketler: Yatay Tüp Fırını, Çin Yatay Tüp Fırın Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika
Bir çift
Yüksek sıcaklık tüp fırınıSonraki
Bölünmüş tüp fırınıSoruşturma göndermek
